2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-PB4-22]低消費電力タスク指向型ERT法によるLIG欠陥の位置検出

〇皆川 敬哉1,2、金子 怜司1、生野 孝1 (1.東理大先進工、2.産総研)

キーワード：

電気インピーダンストモグラフィ、レーザ誘起グラフェン、非破壊検査

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