講演情報
[16p-W8E_307-2]垂直ブリッジマン法による LiTaO3単結晶の育成 (2)
〇大迫 千峰1、土橋 大輔1、小林 壮2、干川 圭吾2、泉 聖志1、太子 敏則2 (1.住友金属鉱山、2.信州大学)
キーワード:
タンタル酸リチウム、垂直ブリッジマン法
LiTaO3結晶は工業的に高周波誘導加熱方式を用いたチョクラルスキー(CZ)法で育成される。CZ法は結晶径を制御するために融液の径方向の温度勾配が大きく、結晶内の温度分布に起因した結晶欠陥が導入され結晶性が悪化する。垂直ブリッジマン(VB)法は低い温度勾配での育成が可能で、我々は過去LTの育成に成功しているが、坩堝形状からシード由来の欠陥が伝搬する可能性があった。今回坩堝形状を変えた育成を実施し、結晶欠陥を観察した。
