講演情報

[16p-W8E_307-3]垂直ブリッジマン法によるⅢ-Ⅴ族化合物半導体単結晶成長を想定した温度測定

〇高木 大地1、太子 敏則1、佐田野 正崇2、青山 浩一郎2 (1.信大工、2.住電半導体材料)

キーワード:

半導体、VB法