講演情報
[16p-W8E_308-5]Silicon-on-insulator基板上への超伝導トンネル接合検出器の試作
〇志岐 成友1、藤井 剛1 (1.産総研)
キーワード：
超伝導検出器、ピクセル吸収体、SOI
超伝導トンネル接合(STJ)をSOI基板上に作ることができると、X線検出器製作の幅が広がるだけでなく、シリコン集積回路と組み合わせたモノリシックデバイスの実現など、極限的な応用が期待される。SOI基板を用いた試作に挑戦し、STJのSOI基板上への製作に初めて成功した。試作の概要と電流電圧特性について報告する。