講演情報
[16p-W9_222-7]プロセスインフォマティクスによる半導体製造技術の深化
〇髙石 将輝1 (1.アイクリスタル)
キーワード：
プロセスインフォマティクス、半導体、機械学習
半導体製造の開発短縮と環境負荷低減、品質・生産性向上を同時に実現するため、物理現象モデルと実測データに基づくサロゲートを統合したデジタルツイン上で仮想実験を行い、多目的・ロバスト最適化で最適条件を探索するプロセスインフォマティクスを解説する。成膜装置設計、ウェハ加工条件、工程跨ぎ最適化の当社事例で探索効率と再現性を示し、異常予兆検知とファブ運用最適化の代表例・動向を概観する。実装上の要点も述べる。