セッション詳細
[16p-W9_222-1~11]Lab to Fab 2:量産化とグリーン化を突破するための半導体研究
2026年3月16日(月) 13:30 〜 18:00
W9_222 (西9号館)
座長:青野 真士(Amoeba Energy)、 中川 真一(SCREEN)
半導体研究が社会に実装されるためには、量産化の可能性やグリーン化といった現場起点の制約を踏まえた研究設計が不可欠です。本シンポジウムでは、半導体工場の現場が直面する技術的・工程的な制約や要請を研究者と共有し、それを起点に新たな発想や設計思想を築くことを目指します。研究と現場の対話を通じて、我が国の半導体産業が再び輝く未来に向けて、量産化とグリーン化を突破する研究のあり方をともに考えます。
[16p-W9_222-3]物理に基づく中間変数を用いたALD-SiO2複数回アニールモデルの再利用性検証
〇岡地 涼輔1、臼井 正則1、村松 潤哉1、桑原 誠1、菊田 大悟1 (1.豊田中研)
[16p-W9_222-4]少数データセットにおけるガウス過程回帰を用いた単一濃度・温度条件に対するSi3N4膜のウェットエッチング量予測
〇(M1)平田 佑亮1、柴田 行輝1、三澤 奈央子1、太田 喬2、吉永 祐貴2、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.株式会社スクリーンセミコンダクターソリューションズ)
[16p-W9_222-5]ガウス過程回帰を用いた複数の薬液条件におけるSiO2膜/Si3N4膜のウェットエッチング量予測
〇(M1)平田 佑亮1、三澤 奈央子1、太田 喬2、吉永 祐貴2、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.株式会社スクリーンセミコンダクターソリューションズ)
[16p-W9_222-9]サステナブルなALDの原料オンデマンド供給を可能にする高速開閉バルブの動作制御
〇(M1)石田 栞大1、西里 洋1,2、小田 翔太1、中家 佑吾2、奈須 錦一4、岡島 寛3、百瀬 健4 (1.熊大自、2.堀場エステック、3.熊大先端院、4.熊大半導体)
