[16p-W9_323-1~16] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

15:30 〜 15:45

[16p-W9_323-10] Mg-Si 分割ターゲットを用いた高出力インパルス・マグネトロン 共スパッタリングによるMg2Siナノ結晶の形成

〇田中 大翔¹、小林 彪我¹、菅原 宏治¹、髙橋 侑也¹、清水 徹英¹、花尻 達郎²、柳澤 圭一²、坂本 文孝² (1.都立大SD、2.東洋大)

キーワード：

高出力インパルス スパッタリング、マグネシウムシリサイド、ナノ結晶