[16p-W9_323-1~16] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

16:15 〜 16:30

[16p-W9_323-12] フォトリソグラフィを用いたメサ型β-FeSi₂ pnホモ接合素子の作製

〇松本 蒼生¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：

シリサイド、鉄シリサイド、光半導体