講演情報
[16p-W9_323-9]Mg2Si PD リニアアレイの作製とSWIRイメージング実証
〇飯野 有紀1、武井 日出人1、立村 優弥1、山口 広輝1、坂根 駿也1、木村 孝之1、鵜殿 治彦1 (1.茨大工)
キーワード：
Mg2Si、SWIR、イメージセンサ
低価格な短波長赤外（SWIR）センサ実現に向け、資源豊富なMg2Siを用いた32画素フォトダイオードリニアアレイ（PDLA）を開発した。n型基板へのAg拡散によりpn接合を形成し、専用の読み出し回路と実装。波長1310nmの光源を用いた撮像試験では、画素欠損のない良好なコントラストと空間再現性を持つSWIRイメージの取得に成功した。これにより、Mg2Siを用いた実用的な撮像性能が実証された。