[16p-W9_325-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

13:30 〜 13:45

[16p-W9_325-1] ２元ターゲット交互PLDによるヘテロ堆積膜 (BaO₂/Ca₂Cu₃O_y(O,F)₂)mの超伝導

〇木場 信一郎¹、伊豫 彰²、二見 能資¹ (1.国立高専機構熊本、2.産総研)

キーワード：

超伝導薄膜、頂点フッ素系銅酸化物

頂点F系PLD薄膜の超伝導について、BaO₂，Ca₂Cu₃O_y(O,F)₂層がそれぞれキャリヤリザーブ(CRL)，超伝導(SCL)を担うとして，その結合と組成を実現する堆積プロセスに注目した．結合は堆積温度(T_CRL,T_SCL)，組成は堆積時間(t_CRL,t_SCL)を主なパラメータとした.その結果、外部磁場B_app= 0 TでTco= 95.2 K, Tce= 45.2 Kの超伝導転移が得られた．