[16p-W9_325-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

14:15 〜 14:30

[16p-W9_325-4] ミスト CVD 法と熱処理による超伝導 YBa₂Cu₃O₇ 薄膜の作製

〇(B)柴田 尚弥¹、堀内 亮¹、松本 明善²、池之上 卓己¹、土井 俊哉¹ (1.京大、2.NIMS)

キーワード：

YBCO、ミストCVD、REBCO

YBCOは超伝導線材への応用が期待されているおり、低コストかつ生産性の高い常圧プロセスの確立が求められている。本研究では、常圧プロセスかつ連続成膜が可能なミストCVD法に着目し、ミストCVD法による成膜と熱処理を併用することでYBCO薄膜を得た。ミストCVD法を用いて500 °Cで成膜し、755 °Cで熱処理をして得られたYBCOは、10 Kで380 kAcm^-2のJ_cを示した。