[16p-W9_325-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

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[16p-W9_325-7] PLD法による薄膜生成プロセスにおけるビジュアルフィードバック制御システムの構築

〇(M2)八谷 達磨^1,5、中尾 匠冶^1,5、川端 康介^2,5、一野 祐亮^3,5、一瀬 中^4,5、堀出 朋哉^2,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5、堀尾 恵一^1,5 (1.九工大、2.名大工、3.愛工大、4.電中研、5.JST-CREST)

キーワード：

プルーム、機械学習、PLD法

我々はPLD法における薄膜生成プロセスの安定化を目指している．観測が困難な真空チャンバー内の各種条件によりプルームは変化するが，本研究では，レーザーエネルギー（LE）と酸素分圧（OP）を操作量とすることで所望のプルーム形状を実現する制御システムを構築した．非線形かつ応答遅れを含むプロセスを対象としているにもかかわらず制御則が単純なP制御のみで安定した形状制御を実現することができた。