講演情報
[16p-W9_326-3]シリコンリブ型導波路を用いたマッハツェンダー干渉計の評価
〇(M1)米倉 孝祐1、清水 大雅1 (1.農工大)
キーワード：
匂いセンサ、導波路、リブ
昨今、匂い分子を定量的に評価するセンサの需要が高まっている中でシリコン系導波路センサは耐久性、素子のサイズ、集積化などの点で優れたセンサである。我々はこれまで嗅覚受容体OR51E2を修飾した検出器長1.4 mmのシリコンマッハツェンダー干渉計(MZI)センサによる濃度5 x 10^-4 mol/Lの酢酸ナトリウムの増感を報告した。本研究では伝搬損失低減と感度の向上を目指して検出器長3 mmのリブ型MZI導波路を作製し、評価したので報告する。