講演情報
[16p-W9_327-5][第59回講演奨励賞受賞記念講演] スパッタリング法で成膜されたアモルファスVTe2薄膜の結晶化挙動と組成制御による結晶相設計
〇折原 周平1、双 逸1,2、安藤 大輔1、須藤 祐司1,2 (1.東北大工、2.東北大AIMR)
キーワード：
薄膜、VTe2、スパッタリング
本講演では、スパッタ成膜したアモルファスVTe2薄膜の結晶化挙動と、組成制御による相形成の特徴を整理した。VとTeのRF出力を変化させることでVTe2~V3Te4に相当する組成域のV-Te薄膜を成膜し、アニーリング後に各相に対応する回折ピークと層状構造を確認した。加えて、組成に依存した結晶化温度の違いに着目し、ホール測定・光学測定から、結晶化に伴う伝導特性の変化について検討した。