講演情報

[16p-WL1_401-10]AI半導体時代の多様化ウエハに挑む ─ 露光装置の搬送ソフトウェア開発

〇佐藤 秀司1 (1.キヤノン光機)

キーワード:

AI半導体ウエハ、搬送