2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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15:40 〜 15:50
[16p-WL1_401-8]
プラズマを設計する ─ シミュレーションで挑む装置開発
〇鬼頭 聖弥
1
(1.KOKUSAI ELECTRIC)
キーワード:
プラズマトリートメント、表面改質
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