講演情報
[16p-WL2_101-11]フッ化物、酸フッ化物のスパッタ成膜
〇坂野 洋平1、菅原 涼輔1、須貝 優磨1、田中 康仁1、税所 慎一郎1、菅原 卓也1 (1.シンクロン)
キーワード：
フッ化物、誘電体、複合アニオン
フッ化物は他のハロゲン化合物と比較して安定であり、結合エネルギーが高く、高いバンドギャップを持つ有用な物質である。フッ化物スパッタ成膜を試みた例は多いが、膜にフッ素欠損が発生する問題があった。本研究では、フッ素欠損を回避するフッ化物成膜方法、合わせて酸素との複合アニオンである酸フッ化物成膜方法、それらの手法で作成した薄膜特性について報告する。