講演情報
[16p-WL2_301-12]Si3N4メンブレン構造によるテラヘルツ帯バンドパスフィルタの作製
〇川上 彰1、入交 芳久1、齋藤 伸吾1、関根 徳彦1、菱田 有二1、寺井 弘高1 (1.情通機構)
キーワード：
バンドパスフィルタ、メンブレン構造
THz周波数領域の基盤技術として、我々は高感度・広IF帯域の超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサの研究開発を実施している。同ミキサの性能向上に伴い、不要黒体輻射を除去する狭帯域バンドパスフィルタ(BPF)が必要になっている。そこで今回、メンブレン構造及び微細加工技術の導入によるTHz帯BPFの作製を試みた。試作したBPFは設計周波数と一致した中心周波数2.01 THzにおいて最大透過率(88%)、比帯域約11%の良好な特性を示した。