講演情報
[16p-WL2_301-14]フレキシブルシリコンを用いた曲げ変形可能なテラヘルツシリコン導波路の提案
〇山根 秀勝1、山田 義春1、近藤 裕佑1、市川 大暉2、Gao Weijie2、Ngo Nguyen2、冨士田 誠之2、村上 修一1 (1.大阪技術研、2.阪大院基礎工)
キーワード：
テラヘルツ、シリコンフォトニクス、導波路
高抵抗シリコンを用いたテラヘルツシリコンフォトニクスは低損失デバイスとして注目されているが、剛直性が実装上の課題である。本研究では、MEMS微細加工により周期ばね構造とスリット構造を導入し、曲げ可能なテラヘルツシリコン導波路を提案した。曲げ状態でも透過損失の増加はほとんど見られず、良好な伝搬特性を維持できることを実験的に示した。