[16p-WL2_301-1~15] 3.8 テラヘルツ全般

17:30 〜 17:45

[16p-WL2_301-15] 超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)によるCuコーティングを通じたテラヘルツ波導波管の形成

〇(M2)上原 光稀¹、小西 邦昭²、添田 建太郎²、湯本 潤司²、百瀬 健³ (1.熊大院自、2.東大院理、3.熊大半導体)

キーワード：

超臨界流体薄膜堆積法、超臨界流体抽出、ポリマー

次世代高速無線通信としてテラヘルツ(THz)波通信が注目されているが、極細・高アスペクト比のTHz導波管形成は困難である。本研究では光造形3Dプリンタでポリマー構造を作製し、超臨界流体薄膜堆積法による金属薄膜コーティング手法を検討する。