[16p-WL2_301-1~15] 3.8 テラヘルツ全般

14:15 〜 14:30

[16p-WL2_301-4] 共鳴トンネルダイオードを使用した小型イメージングシステムによるシリコンウエハの評価方法の検証

〇梅津 枝里子¹、高橋 功将¹、深澤 亮一¹ (1.(有) スペクトルデザイン)

キーワード：

テラヘルツイメージング、共鳴トンネルダイオード