[17a-M_103-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:00 〜 9:15

[17a-M_103-1] 大気圧マイクロプラズマジェットを用いたポリマー表面改質の周波数依存性

谷口 悠輝¹、國岡 渓太¹、〇呉 準席¹、白藤 立¹、八田 章光² (1.大阪公大工、2.高知工科大)

キーワード：

表面改質、大気圧プラズマ、水接触角度

大気圧マイクロプラズマジェットを用いてポリエチレンテレフタラート（PET）の表面改質を行った．プラズマ周波数が表面改質にどのような影響するか1 kHzから15 kHzの周波数範囲で調べた．