[17a-M_123-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ・フレキシブルデバイス

11:45 〜 12:00

[17a-M_123-11] 低温・常圧印刷プロセスで作る高密度OTFTバックプレーンと電子ペーパー駆動

〇竹田 泰典^1,2、安彦 美穂¹、渡部 香織¹、堀江 良子¹、中村 泰崇³、李 廷輝³、奥 慎也³ (1.山形大INOEL、2.山形大院有機、3.東ソー株式会社)

キーワード：

印刷エレクトロニクス、有機トランジスタ、電子ペーパー

真空・高温プロセスを必要としない印刷エレクトロニクスは、低環境負荷な製造技術として期待されるが、ディスプレイ用バックプレーンでは微細配線・層間接続・素子均一性の両立が課題である。本研究では、反転オフセット印刷を基盤に、160℃以下・常圧で高密度OTFTバックプレーンを作製し、240×146画素（133.7 dpi）の電子ペーパー駆動まで一貫して実証した。IPAリンスにより電極表面由来成分を低減し界面整合性を改善した。さらに、ビア側壁テーパー角が接続性を影響し、緩やかな側壁（23.8°）が微細ビアでの接続歩留まり向上に有効であることを示した。OTFTは移動度1 cm²/Vs級、ON/OFF比>10^8を示し、実用的なスイッチ動作を確認した。