講演情報
[17a-M_135-8]異方性/等方性エッチングを用いたSi光配線用3次元凹面ミラーの製作プロセス
〇大日方 哲1、菊地 奎人1,2、板谷 太郎2、乗木 暁博2、岡野 好伸1、天野 建2 (1.東京都市大学、2.産総研)
キーワード：
シリコンフォトニクス、KOHウェットエッチング、マイクロミラー
高密度集積に適したSi系光導波路と柔軟性に優れるポリマー光導波路を接続する3次元光接続を目的に、KOHを用いた異方性エッチングとICP-RIE法による等方性ドライエッチングの組み合わせを用いた光接続の試作に関する報告を行う。