講演情報
[17a-M_178-10]MoS2と金属電極のUVテープ転写によるトランジスタアレーの作製
〇長谷川 菜花1、深町 悟1、中谷 真季1、内田 愛佳1、本田 哲士2、保井 淳2、吾郷 浩樹1,3 (1.九大院総理工、2.日東電工、3.九大半導体セ)
キーワード：
二次元材料、転写、トランジスタ
次世代半導体材料として二硫化モリブデン（MoS2）などの遷移金属ダイカルコゲナイドが注目されているが、デバイス応用には転写が必要である。最近、我々はMoS2に適したUVテープ及び転写プロセスを検討してきた。一方でMoS2トランジスタにおいては、電極の蒸着によるMoS2へのダメージが問題である。そこで、本研究ではMoS2と電極をUVテープで転写し、MoS2トランジスタアレーを作製・動作させることに成功したので報告する。