[17a-PA1-1~39] 9 応用物性（ポスター）

[17a-PA1-24] 熱電応用に向けたBa₂AgSi₃薄膜の結晶成長と室温付近における熱電特性

〇梶原 君円¹、佐藤 直大²、幸田 陽一朗³、召田 雅実³、都甲 薫¹、森 孝雄²、末益 崇¹ (1.筑波大院、2.物質・材料研究機構、3.東ソー株式会社)

キーワード：

熱電発電、薄膜半導体、環境調和型材料

Ba₂AgSi₃は組成比に応じた伝導型変調が報告されており、50 ℃においてp型伝導を示したバルク試料については無次元性能指数ZT ＝ 0.52と高い熱電性能が報告されている。我々はこれまでにBa₂AgSi₃膜の成膜に成功してきたが、膜中元素比の制御は十分ではなかった。さらに、薄膜熱伝導率の測定は未達成であった。本研究では膜中元素比を精密に制御するとともに薄膜熱伝導率を測定し、結晶性および室温付近における ZT を含めた熱電特性を調査した。