講演情報
[17a-PA2-19]スパッタリング法による WOx 薄膜を用いたフレキシブル抵抗型センサの開発
〇(M2)孟 芳竹1、井上 蒔人1、李 碩1、尹 友1 (1.群馬大)
キーワード：
センサー、フレキシブル、WOx
近年、ウェアラブル応用に向けたフレキシブル抵抗型センサが注目されているが、薄膜材料の成膜条件や膜厚が曲げ変形下の抵抗特性に与える影響は十分に検討されていない。本研究では、WOx薄膜を用いたラテラル電極型フレキシブル抵抗センサを作製し、酸素流量および膜厚を制御して静的曲げ特性を評価した。その結果、膜厚が薄いほど抵抗変化は大きく、厚膜では繰り返し曲げに対する安定性が向上することを明らかにした。