講演情報
[17a-PA2-20]酸窒化ジルコニウムエピタキシャル薄膜の合成と物性評価
〇(D)宮崎 大地1、吉松 公平1、大友 明1 (1.科学大)
キーワード：
酸窒化物、エピタキシャル薄膜
金属酸窒化物は，可視光応答型水分解光触媒や誘電体材料としての応用が期待されている．一方で，窒素分子の高い安定性により単結晶化が困難なことが本質的な物性の理解を妨げている．本講演では，水分解光触媒能が報告されているγ-Zr2ON2 (n = 1)を含む酸窒化ジルコニウム系(Zrn+3O2nN4)に注目し，エピタキシャル薄膜による単結晶化と薄膜の物性評価について報告する．