講演情報
[17a-PA3-10]高吸湿性材料（PEEK）を含む真空容器における無酸素Pd/Ti蒸着NEGの高温活性化効果
〇狩野 悠1、正岡 裕介1、矢部 学1、濵中 健一1、𠮷川 一朗2、吉岡 和夫2、郭 懿為2、定金 祐作2 (1.入江工研株式会社、2.東京大学)
キーワード：
非蒸発型ゲッター、真空、薄膜
本研究では、PEEK材を真空容器内部に含めた場合に、容器の到達圧力がどの程度上昇するかを実測により明らかにする。さらに、無酸素Pd/Ti蒸着NEG（NEGLAZE）を過加熱することで、水などのガスを排気した場合にPEEK材を含む真空容器内の到達圧力がどの程度低減されるか、また、その低圧状態をどの程度の期間維持できるかを評価する。これらの実測結果に基づき、真空輸送用途におけるNEG過加熱処理の有効性を検証する。