講演情報
[17a-PA3-6]Pt/EMIm[Tf2N]/Si表面における加熱温度に伴う表面構造の観察
〇(B)大谷 勇人1、渡邊 美紀1、佐野 翔輝1、渡邊 初男2、内藤 正路2、碇 智徳1 (1.宇部高専、2.九工大院)
キーワード：
ナノ粒子、イオン液体
スパッタによりPt/イオン液体/Si(100)基板を作製し、それを大気下で800[℃]まで加熱した時の表面構造を観察した。表面構造を走査型電子顕微鏡(SEM)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)で観察し、電子状態をX線光電子分光法(XPS)で観測した。基板加熱温度の上昇に伴い真球に近いナノ粒子を形成することを確認した。本研究では、Pt蒸着量と加熱温度の変化に伴う粒子の挙動を調べた。