2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[17a-PB1-14]
電界下PLD法で成膜したマグネリ相チタン酸化物
〇後藤 颯太
1
、山口 博之
1
、小宮山 崇夫
1
、長南 安紀
1
、小谷 光司
1
、菅原 靖
2
、関根 崇
2
、杉山 重彰
2
(1.秋田県立大、2.秋田産業技術センター)
キーワード：
チタン酸化物、マグネリ相
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