講演情報
[17a-PB1-5]真空紫外光照射による遷移金属酸化物エピタキシャル薄膜表面の構造・導電性制御
〇松田 晃史1、金子 健太1、喬 宇馳1、金子 智2,1 (1.東京科学大学、2.神奈川県産技総研)
キーワード：
遷移金属酸化物、エピタキシャル薄膜、真空紫外光
強い電子相関に基づく結晶方位依存の物性を示す遷移金属酸化物の応用に際して、ヘテロエピタキシャル薄膜の構造・物性制御の意義が大きい。本研究では、銅およびコバルト系の二元系酸化物のエピタキシャル薄膜への真空紫外光照射を介した活性化学種との光化学反応を用いたプロセスを研究した。結果、結晶配向構造を維持したカチオン化学状態変化、およびカチオン配列を基盤とするトポケミカル構造変化と導電性向上を見出した。