[17a-S4_201-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

9:15 〜 9:30

[17a-S4_201-2] QuadpodスキャナとHybrid-Loop周波数復調による溶融金属中高温AFM

〇(D)西脇 悠人¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹ (1.京大院工)

キーワード：

溶融金属、原子間力顕微鏡、高速AFM

qPlusセンサを用いた溶融金属中AFMにより，200 ℃を超える温度域における溶融金属/固体界面の原子分解能分析を行った．高温での熱ドリフト耐性を高速スキャンによって高めるため，qPlusセンサの大きな質量負荷に対応可能な高速探針スキャナ（Quadpodスキャナ）と，低い共振周波数に対応可能な高帯域幅周波数復調法（ハイブリッドループ復調）を開発した．これらを組み合わせ，210 ℃の溶融Ga/PtGa_x界面における原子分解能分析に成功した．