[17a-S4_201-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

9:45 〜 10:00

[17a-S4_201-4] 低誘電率基板qPlusセンサを用いたFM-AFM力検出感度の向上

〇時任 秀慈¹、西脇 悠人¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹ (1.京大院工)

キーワード：

原子間力顕微鏡、qPlus AFM

qPlus AFMは高粘度・不透明な液中においても界面の原子・分子スケールでの分析が可能な一方で，シリコンカンチレバーを使用する一般的なAFMの変位検出法である光てこ法と比較すると力検出感度に劣る．本研究では，qPlus AFMの高速・広帯域化に向けて力検出感度の向上を目指した．プリアンプに使用するOPアンプの改良，水晶振動子 (QTF) の取り付け基板の低誘電率化，QTF先端の切断の３つのアプローチを行った結果力検出感度の向上に成功した．