[17a-S4_202-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

10:30 〜 10:45

[17a-S4_202-6] 電子ビーム露光によるスランテッド構造の作製

〇丹羽 謙介¹、谷口 淳¹ (1.東理大先進工)

キーワード：

電子ビーム、ナノインプリント、スランテッド構造