[17a-WL2_401-1~11] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

9:00 〜 9:15

[17a-WL2_401-1] オンチップ光周波数コム生成のための薄膜ニオブ酸リチウムリング共振器の製作・評価

〇坂本 駿介¹、羽中田 祥司¹、北原 凌成¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：

薄膜ニオブ酸リチウム、光周波数コム

薄膜ニオブ酸リチウム (TFLN) は高性能な変調器や波長変換器などへの応用が期待されている．我々はTFLN上での光Kerr効果を利用した光周波数コム生成を目指している．前回までにリブ型光導波路とグレーティングカプラを設計，光コム生成条件を求め，またTFLNの加工プロセスを確立，導波路の低損失化を行ってきた．今回はTFLNリング共振器を製作，評価した．