講演情報
[17a-WL2_401-7]テラヘルツ波帯におけるシリコンナノワイヤエッチング時間と反射率低減効果
〇(M1C)白川 滉基1、杉本 義喜1、加藤 慎也1 (1.名工大院工)
キーワード：
シリコンナノワイヤ、テラヘルツ波帯アンテナレンズ
本講演では、テラヘルツ帯アンテナ用シリコンレンズの反射率低減を目的として、シリコンナノワイヤ（SiNW）疑似モスアイ構造の形成条件と反射特性の関係を検討した結果を報告する。MACE法によりエッチング時間を制御してSiNW構造を形成し、反射率測定を行った。その結果、エッチング時間に最適条件が存在し、実効的な層厚が反射抑制に重要であることを明らかにした。今回はこのエッチング時間と反射特性に関して議論する。