[17p-M_103-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:45 〜 15:00

[17p-M_103-4] 分子動力学シミュレーションに基づく指向性を持ったH₂の照射による金属表面変化の材料間比較

〇山本 康介¹、樋口 恒¹、河野 有美子¹、山田 一希¹、李 虎² (1.TEL Tech. Sol. Ltd.、2.TEL America, Inc.)

キーワード：

分子動力学、水素照射、高速中性粒子