講演情報
[17p-M_123-17]白色照明を用いた極薄膜顕微イメージングに適した無反射多層基板
〇服部 吉晃1、張 益仁1、中川 敬三2、北村 雅季1 (1.神戸大院工、2.神戸大院科技イノベ)
キーワード：
酸化グラフェン
光学的に透明な極薄膜を可視化する手法として、反射率の低い基板表面に極薄膜を形成し、光学干渉効果を利用して光学顕微鏡で観察する方法が知られている。しかし、一般的に明瞭な可視化を行うためには、ナローバンドパスフィルタを用いて光源の波長を制限する必要がある。本研究では、白色照明下でも高いコントラストが得られる無反射多層基板について検討した。