[17p-M_278-1~16] 6.1 強誘電体薄膜

14:15 〜 14:30

[17p-M_278-2] RFスパッタリング法によるペロブスカイト型窒化物LaWN₃エピタキシャル薄膜の作製と評価

〇増田 達也¹、濱嵜 容丞²、江原 祥隆²、安井 伸太郎³、伊藤 満³、加藤 丈晴¹、森分 博紀^1,3 (1.JFCC、2.防衛大、3.科学大)

キーワード：

RFスパッタリング、ペロブスカイト型窒化物、LaWN3