[17p-M_278-1~16] 6.1 強誘電体薄膜

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[17p-M_278-5] 2層PZTエピタキシャル圧電薄膜の膜厚依存性

〇(M1)八木 隆之介¹、山本 郁仁¹、權 相曉¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：

PZT

圧電薄膜では基板拘束による内部応力が圧電特性の膜厚依存性に影響する。本研究では，異なる組成のPZTからなる2層構造エピタキシャル薄膜を作製し，内部応力と結晶構造の関係を評価した。XRD測定の結果，2層構造ではa軸配向が顕著に現れ，PZT(30/70)層の面内格子定数は膜厚10–50 nmで大きく変化し，それ以上では緩和する挙動を示した。