講演情報
[17p-PA6-14]フォトルミネッセンス(PL)イメージング法の通信用LDの不良解析への適用検討
〇本田 真也1、内田 智之1、杉江 隆一1 (1.(株)東レリサーチセンター)
キーワード：
レーザーダイオード、フォトルミネッセンス、不良解析
PLイメージング法の通信用LDの不良解析への適用を検討した。LDは多層構造であり、目的層への励起光の到達や反射光除去が課題である。本研究では、近赤外LD素子を用い、InP基板を露出させて裏面からPL像を取得した。その結果、InP基板を発光させて二次的に活性層を励起させる方法が、LDの欠陥解析において有用である可能性を確認することができた。今後は励起波長の最適化などに取り組んでいく。