[17p-S2_203-1~11] 次世代電子源と電子ビーム技術の新展開

13:35 〜 14:05

[17p-S2_203-2] 電子顕微鏡用次世代電子光源に関する最新動向

〇楠 敏明¹、荒井 紀明² (1.日立、2.日立ハイテク)

キーワード：

電子顕微鏡、電子光源

高分解能の電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)では、分解能を上げるため単色性のよい電子源が必要であり、より低電界で電子放出可能な低仕事関数材料を用いるのが有効である。そこで、LaB₆やCeB₆などの六ホウ化物やHfCなどの遷移金属炭化物の電界放出電子源の開発が進められている。
本講演ではHfCの冷電界放出電子源の電子放出特性や、仕事関数の評価などを紹介する予定である。