講演情報
[17p-S2_203-6]半導体フォトカソード電子源の開発と電子ビーム技術の新展開 ～パルス電子源はいかが？～
〇小泉 淳1 (1.Photo electron Soul)
キーワード：
フォトカソード、電子銃、InGaN
半導体デバイスの三次元構造化に伴い、高度な電子ビーム計測が不可欠となっている。半導体フォトカソード電子源の課題であった小型化と耐久性は、窒化物半導体フォトカソードの実用化により大きく改善され、パルス電子源としての特性を生かしたキラーアプリケーションが生まれつつある。本講演では、半導体フォトカソードの開発と、応用技術の開発がもたらした検査・計測技術の新展開について述べる。