[17p-S2_204-1~18] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

16:00 〜 16:15

[17p-S2_204-10] ベイズ超解像を用いたスペクトル超解像によるＸ線光電子分光測定の高速化と解析ソフトウェアの開発

〇原田 俊太^1,2、辻森 皓太²、小寺 竜貴²、木下 慎一郎² (1.名古屋大学、2.SSR株式会社)

キーワード：

XPS、分光測定、超解像

スペクトル超解像で粗いエネルギーステップの複数XPSスペクトルから高密度スペクトルを復元し、深さ方向分析やマッピングの測定高速化を実現。Si 2pでS/N維持のまま時間1/5を実証し、GUI解析ソフトを開発した。