[17p-S2_204-1~18] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

17:45 〜 18:00

[17p-S2_204-16] 三次元アトムプローブデータとSTEMトモグラフィーデータへの非剛体レジストレーションの初期的適用

〇赤瀬 善太郎¹、別所 泰成¹、日野 雄輝¹、Yugant Gotmare¹、大竹 義人¹、埋橋 淳²、岩満 一功¹、中島 宏³、山﨑 順³、大久保 忠勝²、冨谷 茂隆¹ (1.奈良先端大、2.物質・材料研究機構、3.大阪大学)

キーワード：

3次元アトムプローブ、電子線トモグラフィー、微量元素分布解析

先端半導体の微量不純物三次元評価を目的に、APTとETを組み合わせた相関顕微鏡法を開発している。APT像をET像基準で非剛体レジストレーションする際、初期段階のみモダリティ変換を行う改良法を提案し、界面での位置合わせ安定性を向上させた。実データ適用により手法の有効性を示した。