[17p-S2_204-1~18] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

18:00 〜 18:15

[17p-S2_204-17] 原子スケール模擬データを用いた APT データと STEM トモグラフィーデータ間の非剛体レジストレーション精度検証方法の検討

〇(M1)彌榮 陽斗¹、別所 泰成¹、岩満 一功¹、大竹 義人¹、赤瀬 善太郎¹、冨谷 茂隆¹ (1.奈良先端大)

キーワード：

3次元アトムプローブ、電子線トモグラフィー、精度検証

本研究の目的は、APT データとSTEM トモグラフィーデータ間の非剛体レジストレーションの精度検証方法を確立することである。実測データでは真の原子位置が不明であるため、真の原子位置を仮定した一対の APT および STEM トモグラフィー模擬データを作成した。これらのうち APT データに既知の局所歪みを付与した上で非剛体レジストレーションを適用し、その結果に基づき精度検証方法を議論する