2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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16:15 〜 16:30
[17p-W2_401-10]
単結晶ダイヤモンド基板上へのGaNのRF-MBE成長
〇鹿野 義人
1
、荒木 努
2
、出浦 桃子
1,3
(1.早大理工、2.立命館大理工、3.立命館大R-GIRO)
キーワード:
GaN、ダイヤモンド基板、RF-MBE
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