講演情報

[17p-W2_401-10]単結晶ダイヤモンド基板上へのGaNのRF-MBE成長

〇鹿野 義人1、荒木 努2、出浦 桃子1,3 (1.早大理工、2.立命館大理工、3.立命館大R-GIRO)

キーワード:

GaN、ダイヤモンド基板、RF-MBE