[17p-W8E_308-1~15] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびディジタル応用

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[17p-W8E_308-12] 超伝導Nb表面酸化膜除去に向けたフッ化反応系の調査と条件最適化

〇(M2)青山 大和¹、大堀 大介¹、藤田 裕一²、浦出 芳郎²、藤井 剛²、猪股 邦宏²、遠藤 和彦¹ (1.東北大流体研、2.産総研G-QuAT)

キーワード：

Nb、フッ化、ドライプロセス