[17p-WL2_401-1~14] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

16:45 〜 17:00英語発表

[17p-WL2_401-13] Fabrication of ITO TFTsfor driving thermo-optic phase shifters on Si photonics platform

〇(M2)YUANPIN WANG¹, Xuanhedong Gao¹, Okano Makoto², Kasidit Toprasertpong¹, Shinichi Takagi¹, Mitsuru Takenaka¹ (1.UTokyo, 2.AIST)

キーワード：

Silicon Photonics、Oxide Semiconductor TFT